- [技术支持]VOLAB总结：特种气体系统的设计[ 2019-04-30 16:43 ]
- VOLAB总结：特种气体系统的设计 一个工艺技术先进的大规模集成电路工厂的硅片制造过程中，全部工艺大约要使用50种不同的电子气体。其中大部分为特种气体。本文就特种气体系统的设计与施工方面做一个简单描述。 一：概念 特气输送系统是指：将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压力等参数的控制，通过管道、无二次污染、稳定的输送到工艺设备的用气点。 其基本流程是：气源→控制柜→管道传输→VMB→用气点 二：分类
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